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清潔度檢測為什么要使用無塵室?

發(fā)布日期: 2023-11-29
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清潔度無塵室是污染控制的基礎??刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?,從而達到適當?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。  

清潔度無塵室是一個人造的環(huán)境,里面含有的粒子遠低于一般的環(huán)境,隨著集成電路的級數(shù)的快速成長,也增加了對生產環(huán)境(無塵室)潔凈度要求,在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1um.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。

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清潔度無塵室的主要作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造。由于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續(xù)縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造不0可或0缺的要素。


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