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使用清潔度無塵室的必要性

發布日期: 2022-06-16
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清潔度無塵室是顆粒物污染控制的基礎??刂瓶諝鈶腋∥⒘舛?,從而達到適當的微粒潔凈度級別。無塵室是指將一定空間范圍內的微粒物、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內的溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計的房間。 

 

清潔度無塵室是一個人造的環境,里面含有的粒子遠低于一般的環境,隨著集成電路的級數的快速成長,也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求,在工業上即使讓粒子的尺寸小于0.1微米,也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。

 

清潔度無塵室其主要的作用在于控制產品(如鋰電池等)所接觸的大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。由于納米技術的興起,造成半導體關鍵尺寸持續縮小,集成電路積集度不斷地增加,塵粒更容易使電池芯片失效或可靠性降低。例如當金屬塵粒落到金屬導線時,就可能會使金屬導線形成短路。如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上,可能將其腐蝕,所以無塵室為集成電路制造*的要素。

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