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半導(dǎo)體顯微鏡的校準方法分享

發(fā)布日期: 2019-03-11
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   半導(dǎo)體顯微鏡的校準方法分享

  半導(dǎo)體顯微鏡是鑒定成品材料質(zhì)量*的儀器。半導(dǎo)體顯微鏡主要通過材料顯微組織的定性,定量晶界組織等表征識別來對材料工藝流程,物理特性,失效成因等綜合因素做出科學的判斷,并對金屬細微結(jié)構(gòu)以及非金屬夾雜物的分布形貌等進行科學研究。

  伴隨著經(jīng)濟進入新常態(tài),國內(nèi)材料行業(yè)必定在供給側(cè)改革的大趨勢下迎來行業(yè)的春天。從zui傳統(tǒng)的黑色鋼鐵冶煉到zui熱門的納米材料制造無不蘊藏著巨大的商機。那么成品材料的質(zhì)量鑒定就成為了行業(yè)突破的首要問題。其中zui重要的一項鑒定檢查程序就是通過一臺專業(yè)的半導(dǎo)體顯微鏡對材料樣品進行金相檢驗。

  1、物鏡場曲

  將一半導(dǎo)體顯微鏡物鏡安裝好,將0.01mm標準測微尺放在工作臺上并壓緊;旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕,將焦點調(diào)整在測微尺的中間,視場中心成像清晰,此時將千分表測頭與工作臺表面相接觸并對好表的零位;再次旋轉(zhuǎn)半導(dǎo)體顯微鏡調(diào)焦旋轉(zhuǎn),把焦點調(diào)整到測微尺的邊緣,使視場邊緣成像清晰。半導(dǎo)體顯微鏡觀察千分表,其zui大偏移量即為該物鏡的場曲誤差,其余物鏡以此類推進行校準。

  2、物鏡放大倍數(shù)的正確性

  半導(dǎo)體顯微鏡裝上10X標準目鏡和被檢物鏡,將0.01mm標準沒微尺放在工作臺上并壓緊。半導(dǎo)體顯微鏡觀察時測微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合,其偏移量測是放大倍數(shù)的誤差。其余物鏡以此類推進行校校準,其誤差不大于5%

  3、目鏡分劃板的準確度

  將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下,把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調(diào)好焦距;調(diào)整半導(dǎo)體顯微鏡工作臺,使分劃板的水平線與萬工顯縱向?qū)к壭谐唐叫胁昧阄唬疵?0格測量一次,直到第100格,其誤差不大于5um

  4、物鏡成像清晰范圍

  用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣進行調(diào)焦,使成像清晰。當視場中心像zui清晰時,半導(dǎo)體顯微鏡測得視場內(nèi)的成像清晰范圍的誤差不低于60%

  5、各物鏡相對于目鏡的格值

  裝上被檢半導(dǎo)體顯微鏡的10X目鏡,將0.01mm標準測微尺(推薦使用隨機0.01mm測微尺)放在工作臺上并壓緊;調(diào)整測微尺標尺軸線與半導(dǎo)體顯微鏡目鏡分劃板標尺軸線平行,并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測微尺n條刻線數(shù),該物鏡相對于目鏡的格值為:C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進行校準。

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